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电阻型半导体气敏传感器的结构

2019-07-10来源:【制冷通】
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        加热器的作用是将附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等烧掉,加速气体的吸附,提高其灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200〜400℃左右。加热方式一般有直热式和旁热式两种,因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式 将加热丝直接埋入Sn02、ZnO粉末中烧结而成,因此直热式常用于烧结型气敏结构,旁热式是将加热丝和敏感元件同置于一个陶瓷管内,管外配以梳状金电极做测量极,在金电极外再涂上Sn02等材料。
电阻型半导体气敏传感器的结构
         直热式结构气敏传感器的优点是制造工艺简单、成本低、功耗小,可以在高电压回路中使用。它的缺点是热容量小,易受环境气流的影响,测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响,国产QN型和日本费加罗TGS# 109型气敏传感器均属于此类结构。
电阻型半导体气敏传感器的结构
        旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点,使测量极和加热极分离,而且加热丝不与气敏材料接触,避免了测量回路和加热回路的影响;器件热容量大,降低了环境温度 对器件加热温度的影响。所以,这类结构器件的稳定性、可靠性比直热式结构的好,国产 QM - N5型和日本费加罗TGS#812/813型气敏传感器采用的都是这种结构。
(责任编辑:志豪)
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